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Epitaxie und Charakterisierung von AlGaN-basierten UV-Photodetektoren
Science for systems 28
ISBN/EAN: 9783839611111
Umbreit-Nr.: 2029427
Sprache:
Deutsch
Umfang: 126 S., zahlr., meist farb. Abb. u. Tab.
Format in cm:
Einband:
kartoniertes Buch
Erschienen am 09.02.2017
Auflage: 1/2017
- Zusatztext
- AlGaN-Photodetektoren bieten erhebliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Si-basierten Photodetektoren hinsichtlich der Zuverlässigkeit und der elektrooptischen Leistungseigenschaften. Schwerpunkt dieser Dissertation ist daher die metallorganische Gasphasenepitaxie und die Charakterisierung der AlGaN-Schichten zur Prozessierung von p-i-n-Photodioden für die Messung von UV-Strahlung.