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Plasma Chemistry III
Topics in Current Chemistry 94
ISBN/EAN: 9783662159729
Umbreit-Nr.: 5654663
Sprache:
Englisch
Umfang: iv, 132 S., 14 s/w Illustr., 132 p. 14 illus.
Format in cm:
Einband:
kartoniertes Buch
Erschienen am 03.10.2013
Auflage: 1/1980
€ 106,99
(inklusive MwSt.)
Nachfragen
- Zusatztext
- InhaltsangabePlasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.